一般 |
制御モジュール |
スレーブモジュール |
ポテンショスタット |
高電圧 |
弱電流 |
内部
ブースター |
XM PSTAT 1MS/S |
XM HV100 /
HV30 |
XM FEMTO
AMMETER |
XM BOOSTER
2A |
取得済スロット |
1スロット |
1スロット |
1スロット |
2スロット |
セル接続 |
2、3 又は4端子 |
2、3 又は4端子 |
2、3 又は4端子 |
2、3 又は4端子 |
機器接続 |
CE、WE、RE、LO |
CE、WE、RE、LO |
WE、LO |
CE、WE |
フローティング測定 |
あり |
あり |
あり |
あり |
インピーダンス測定帯域 |
1 MHz(FRA経由) |
1 MHz(FRA経由) |
1 MHz(FRA経由) |
1 MHz(FRA経由) |
最大ADCサンプルレート |
1 MS/s |
N/A |
N/A |
N/A |
スムーズな走査装置 |
64 MS/s挿入
及びフィルタ |
N/A |
N/A |
N/A |
最大時間記録 |
無制限 |
N/A |
N/A |
N/A |
DCスキャンレート(定電位) |
1.6 MV/s
1 µV/s1 |
10 MV/s
1 µV/s1 |
N/A |
1.6 MV/s
1 µV/s1 |
DCスキャンレート(定電流) |
60 kA/s ~ 200 µA/s1 |
10 kA/s
200 µA/s1 |
N/A |
400 kA/s
200 µA/s1 |
最小パルス持続時間 |
1 µs |
N/A |
N/A |
N/A |
IR補償 |
あり |
N/A |
NA |
N/A |
対電極(CE) |
XM PSTAT 1MS/S |
XM HV100 /
HV30 |
XM FEMTO
AMMETER |
XM BOOSTER
2A |
電圧分極範囲 |
±8 V |
±100 V / ±30 V |
N/A |
±20 V(2) |
電流分極範囲 |
±300 mA |
±100 mA /
±200 mA |
N/A |
±2 A |
最大コンプライアンス(CE対LO) |
±8 V |
±100 V / ±30 V |
N/A |
±20 V(2) |
帯域(10ステップ) |
1 MHz ~ 10 Hz |
1 MHz ~ 10 Hz |
N/A |
1 MHz ~ 10 Hz |
分極V / I誤差
(設定 + 範囲) |
0.1% + 0.1% |
N/A |
N/A |
N/A |
スルーレート |
10 V/µs超 |
10 V/µs超 |
N/A |
10 V/µs超 |
基準入力(RE) |
XM PSTAT 1MS/S |
XM HV100/
HV30 |
XM FEMTO
AMMETER |
XM BOOSTER
2A |
接続 |
差分入力 |
差分入力 |
PSTAT又はHV |
PSTAT又はHV |
ケーブルシールド |
ドリブン/地面(3) |
ドリブン/地面(3) |
N/A |
N/A |
最大電圧測定 |
±8 V |
±100 V / ±30 V |
N/A |
N/A |
範囲 |
8 V ~ 3 mV |
100 V ~ 3.75 mV |
N/A |
N/A |
精度
(読み取り % + 範囲 % + オフセット) |
0.1% + 0.05%
+ 100 µV |
0.1% + 0.05%
+ 100 µV |
N/A |
N/A |
最大分解能 |
1 µV |
1.25 µV |
N/A |
N/A |
入力インピーダンス |
100 GΩ超
28 pF未満3 |
100 GΩ超
28 pF未満3 |
N/A |
N/A |
入力バイアス電力 |
10 pA未満 |
10 pA未満 |
N/A |
N/A |
作用電極(WE) |
XM PSTAT 1MS/S |
XM HV100 /
HV30 |
XM FEMTO
AMMETER |
XM BOOSTER
2A |
最大電流 |
±300 mA |
±100 mA /
±200 mA |
±300 mA |
±2 A |
範囲 |
300 mA ~ 30 nA |
300 mA ~ 30 nA |
300 mA ~ 3 pA |
3 A ~ 30 nA |
精度
(読み取り % + 範囲 % + オフセット) |
0.1% + 0.05%
+ 30 fA |
0.1% + 0.05%
+ 30 fA |
0.1% + 0.05%
+ 30 fA4 |
0.1% + 0.05%
+ 30 fA |
最大分解能 |
1.5 pA |
1.5 pA |
0.15 fA |
1.5 pA |
コンプライアンス電圧範囲
(フローティング) |
±8 V |
±100 V / ±30 V |
±100 V |
±20 V(2) |
補助電極(A、B、C、D) |
XM PSTAT 1MS/S |
XM HV100/
HV30 |
XM FEMTO
AMMETER |
XM BOOSTER
2A |
接続 |
4(各差分) |
4(各差分) |
PSTAT又
HV RE使用 |
PSTAT又
HV RE使用 |
仕様 |
RE上記3と同一 |
RE上記3と同一 |
N/A |
N/A |
DC測定 |
REに同期 |
REに同期 |
N/A |
N/A |
インピーダンス測定
帯域 |
1 MHz(FRA経由) |
1 MHz(FRA経由) |
N/A |
N/A |
1 最高の走査レートでは外部データ取得カードが必要となり、内部ADCでは最大25 kV/秒で利用される場合があります。
2 20 V(HVオプション適合)、8 V(コアカード専用)
3 3端子モードで利用されるドリブンシールド、4端子接地キャパシタンス仕様では3-t モードを適用します。補助電極はドリブンシールドを利用します。
4WEフェムトアンメーターの「%読み取り」精度項は、300 pA範囲で0.2%、30 pA 範囲で2%、及び3 pA 範囲で5%となっています。