| 一般 | 制御モジュール | スレーブモジュール |
| 100 V高電圧 | フェムト電流計 | 2 Aブースター |
| XM MAT 1MHz | XM MHV100 | XM MFA | XM MBST 2A |
| 使用中筐体スロット | シングル | シングル | シングル | ダブル |
| 測定モード | 2又は4端子 | 2又は4端子 | 2又は4端子 | 2又は4端子 |
| モジュールからのサンプル接続 | Gen、VHi、VLo、I | Gen、VHi、VLo
MAT- I | I
MAT- Gen、VHi、VLo | Gen、I
MAT- VHi、VLo |
| サンプル接続ケーブル（1 m長） | 4 x BNC-BNC | MATケーブル | Triax ～ BNC | MATケーブル |
| フローティング | あり | あり | あり | あり |
| 一般出力 - （Gen） | XM MAT 1 MHz | XM MHV100 | XM MFA | XM MBST 2A |
| 最大波形発生器サンプルレート | 64 MS/s
挿入／フィルター | MAT利用 | N/A | MAT利用 |
最大電圧（開回路負荷） DC + ピークAC
（スルーレート限度に従う） | ±8 V | ±100 V | N/A | MATあり±8 V
MATあり±20 V |
| 最大電圧分解能 | 150 μV（3 V未満）
400 μV（3 V以上） | 2 mV（37 V未満）
5 mV（37 V以上） | N/A | 1.5 mV |
| 最大出力電流 | ±100 mA | ±100 mA | N/A | ±2 A |
| 出力インピーダンス（名目） | 50 Ω | 50 Ω | N/A | 1 Ω未満 |
| 適用電圧誤差（開回路負荷） | ±0.2%設定
±800 μV（3 V未満）
/ ±2 mV （3 V以上） | ±0.2%設定
±12.5 mV（37 V未満）
/ ±35 mV （37 V以上） | N/A | ±0.2%設定 +
±10 mV（3 V未満）
/ ±25 mV （3 V以上） |
| 電圧掃引レート | 1.6 MV/s ～ 1 μV/s | 10 MV/s ～ 1 μV/s | N/A | 1.6 MV/s ～ 1 μV/s |
推奨最大掃引レート
（1 MS/s取得レート使用） | 25 kV/s | 150 kV/s | N/A | 25 kV/s |
| 最小パルス持続時間 | 1 μs | MAT利用 | N/A | MAT利用 |
| 最大スルーレート | 10 V/μs超 | 15 V/μs超 | N/A | 10 V/μs超 |
| 電圧測定 - （VHi/VLo） | XM MAT 1MHz | XM MHV100 | XM MFA | XM MBST 2A |
| 最大電圧 | ±8 V | ±100 V | N/A | N / A |
| 電圧範囲 | 8、3(V)
300、30、3 (mV) | 100、37.5、3.75 (V)
375、37.5 (mV) | N/A | N / A |
| 電圧測定誤差 | ±0.1%読み取り+
±0.05%範囲+
±100 μV | ±0.1%読み取り+
±0.05%範囲+
±100 μV | N/A | N / A |
| 最大時間領域測定レート | 1 MS/s | N / A | N/A | N / A |
| 最大時間記録 | 無制限 | N / A | N/A | N / A |
| 電流測定 - （I） | XM MAT 1MHz | XM MHV100 | XM MFA | XM MBST 2A |
| 最大電流 | ±100 mA | N / A | ±100 mA | ±2 A |
| 電流範囲 | 100 mA、30 mA ～
30 nA（ディケード） | N / A | 100 mA、30 mA ～
3 pA（ディケード） | 2 A + MAT
範囲 |
| 最大分解能 | 1.5 pA | N / A | 0.15 fA | 1.5 pA（MAT） |
| 電流測定誤差 | ±0.1%読み取り+
±0.05%範囲+
±100 pA | N / A | ±0.1%** 読み取り +
±0.05%範囲+
±30 fA | ±0.1%読み取り+
±0.05%範囲+
±0.1 mA |
| 補助電圧入力 | XM MAT 1MHz | XM MHV100 | XM MFA | XM MBST 2A |
| 補助DCチャネル数 | 4 | N / A | N/A | N / A |
| 電圧範囲 | 8 V、3 V ～ 3 mV | N / A | N/A | N / A |
| 最大分解能 | 1 μV | N / A | N/A | N / A |
| VHi、VLo測定に同期 | あり | N / A | N/A | N / A |
**MFAフェムトアンメーター電流測定の「%読み取り」誤差項は、300 pA範囲で0.2%、30 pA 範囲で2%、及び3 pA 範囲で5%となっています。
| XM MREF仕様 |
| サンプル／基準オプション | XM MREF |
| 使用中筐体スロット | シングル |
| 基準モード | 内部／外部 |
| MAT、MHV、又はMFAへの接続 | Gen、I |
| サンプルへの接続 | 1 m BNCケーブル |
| 内部／外部基準への接続 | 1 m BNCケーブル |
| 較正済基準コンデンサ | 10nF ～ 1pF
（ディケード毎に3） |
| XM MFRA仕様 |
| 周波数応答分析器オプション | XM MFRA 1MHz |
使用中筐体スロット
最大サンプルレート | シングル
40 MS/s |
| 周波数範囲 | 10 µHz ～ 1 MHz |
| 周波数分解能 | 65,000,000分の1 |
| 周波数誤差 | ±100 ppm |
| 最少測定積分時間 | 10 ms |
解析モード（10 μHz ～ 1 MHz）
固定周波数
単一正弦波
複数正弦波／高調波周波数 |
線形／対数
全て又は選択 |
| 精度（率） | ±0.1%、±0.1º |
| アンチエイリアス、デジタルフィルタ、DCバイアス除去 | 自動 |
| 筐体仕様 |
| 筐体タイプ | 8スロット又は4スロット |
| 筐体毎のモジュール | 最大8 |
| ライン電圧 | 90 V ～ 264 V AC
47 - 63 Hz |
| 出力 | 600 VA最大 |
| 通信 | イーサネット100BASE-T |
| デジタル出力 | MATチャネル毎に3 |
寸法 w x h x d
8 スロット／4 スロット | 450 / 310 x 275 x 460 mm
17.7 / 12.2 x 10.8 x 18.1 in |
| 重量8 スロット／4 スロット | 37／21 kg - 82／46 lb |
| 安全性基準： | BS EN 61010 |
| EMC準拠： | BS EN 61325 |
温度範囲
動作
指定精度
保存 |
5° ～ 40°C（41° ～ 104°F）
10° ～ 30°C（50° ～ 86°F）
-25° ～ 70°C（-13° ～ 158°F） |
| 通常PC構成 |
| PC要件 | Pentium IV 1 GHz、1 Gb RAM |
| ディスク容量 | 10ギガバイト超 |
| 通信 | イーサネット100BASE-T |
| ディスプレイ | 17 “又は大型SVGA |
| オペレーティングシステム | Windows XP Professional
又はVista Business
又はWindows 10、8、7 Professional |