MEMs 及び NEMs

技術:  I-V、C-V、P-E、インピーダンス、キャパシタンス、誘電率、 絶縁定数/誘電損失、粒度、分極閾値、交流伝導率
アプリケーション: PCメモリー、FeRAM、アクチュエータ、加速度計、マイクロフォン、インクジェット ヘッド、センサー
タイプ: 強誘電体、圧電、MEMs、NEMs、マルチフェロイック、薄膜、PZT、チタン酸バリウム、ペロブスカイト

MEMs及びNEMs(マイクロ/ナノ電気機械システム)により、圧電素子/強誘電材料を単一の機器に組み合わせるなどの多くの機能を実現します。例えば、最新ゲーム機及び手で操作するコントローラー並びに軍事及び航空宇宙の慣性誘導アプリケーションで使用される3Dジャイロスコープ及び加速度計が含まれます。

ソーラトロン アナリティカルは、これらの材料の特性を解析する下記の試験システム を提供しています:
  • ModuLab XM MTS試験システムは、広範な「プラグ & プレイ」オプションを使用して、完全な時間領域/AC装置の特性解析を実施しています:
  • モデル1260Aインピーダンス ゲイン フェーズ アナライザーは、何千もの出版物で参照されており、キャパシタンス / C-V / インピーダンス /10 µHzから32 MHzのMott-Schottky(120以上の周波数)を試験することが可能であるため、フェロ/圧電材料の特性を完全に解析することができます
  • モデル1296A誘電インターフェース システムは、サンプル/リファレンス技術により、優れた精度を提供するだけでなく、インピーダンス範囲を1260Aから >100 Tohmまで拡大しており、半導体アプリケーションでよく使用されています
  • クライオスタット、ファーネスを含む温度管理オプションが、上記の測定システムのすべてで利用することができます。このシステムでは、サンプルの温度をPCで自動管理し、材料の特性を完全に解析することができます